羅茨真空泵抽氣速率下降的原因分析
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發布時間：2025-02-11
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故障原因：
1、泵的內部零件磨損，導致間隙增大，影響了抽氣效果。
2、泵的冷卻係統出現故障，導致泵體溫度過高，影響了抽氣效果。
3、泵的進口或出口閥門泄漏，導致氣體回流，影響了抽氣效果。
4、葉輪或泵腔出現積碳、氧化物或異物。
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解決辦法：
1、對磨損的零件進行修複或更換，以恢複泵的正常抽氣速率。
2、檢查並修複冷卻係統，確保其正常工作，降低泵體溫度。
3、檢查並修複泄漏的閥門，確保其密封性能良好。
4、清洗葉輪或泵腔，移除積碳、氧化物或異物。
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